چکیده
اخیرا، در صنعت درخواست برای شتاب سنج های MEMS با توان پایین برای کاربردهای مختلف اعم از نظامی و پزشکی،سیستم ناوبری،سیستم پایداری خودرو و... افزایش یافته است. شتاب سنج های MEMS شامل یک قسمت حسگر و مدار رابط الکترونیکی می باشد.در این پروژه ابتدا ساختار مناسب برای خروجی دیجیتال حسگر انتخاب شده و باتوجه به مزیت های مبدل ∑△ این مبدل به صورت سیستماتیک در نرم افزار متلب شبیه سازی شده سپس شتاب سنج الکترومکانیکی ∑△ مرتبه 4 با حلقه فیدبک به صورت بهینه برای سنسور مورد نظر طراحی و تاثیر عوامل غیر خطی و عوامل غیر ایده ال قسمت الکترونیکی مانند: محدود بودن گین تقویت کننده، نویز ، محدودیت پهنای باند و ...پیاده سازی شده است و به صورت سیستماتیک بررسی شده است. با توجه به نتایج به دست آمده یک تقویت کننده کلاس AB سوئیچ شونده طراحی شده است